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          產品展示| PRODUCT
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          光刻機專用UV-LED光源

          ① 曝光面積: 4'', 6'', 8''
          ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
          單波段和雙波段耦合
          ③  有效工作面積:
          4'': 110*110mm
          6'': 160*160mm
          8'': 200*200mm
          ④  不均勻性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
          ⑤ 光強/能量值:
          4'': >100mw@365nm  25A
          6'': > 50mw@365nm   25A

          8'': 25-50mw@365nm 25A

          ⑥ 平行半角:

          4'': ≤1.8°

          6'': ≤1.3°

          8'': ≤1.2°-2°

          ⑦ 工作距離: 100-350nm

          ⑧ 水冷方式

          豫公網安備 41072102000587號

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